三氯硅烷一般指三氯代甲硅烷 [3]，是一种无机化合物，化学式为SiHCl3。外观为无色液体，闪点为-20℃（OC） ，溶于苯、乙醚、庚烷等多数有机溶剂。主要用于制造硅酮化合物，也用于有机硅烷偶联剂和半导体硅的合成 [1]。三氯氢硅被列为电子特气及功能性材料产业园的规划产品之一
三氯硅烷一般指三氯代甲硅烷 [3]，是一种无机化合物，化学式为SiHCl3。外观为无色液体，闪点为-20℃（OC） ，溶于苯、乙醚、庚烷等多数有机溶剂。主要用于制造硅酮化合物，也用于有机硅烷偶联剂和半导体硅的合成 [1]。三氯氢硅被列为电子特气及功能性材料产业园的规划产品之一
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